индукция менен жылытуу mocvd реактору
Индукциялык жылытуучу Металорганикалык Химиялык Бууну Депозиттик (MOCVD) реакторлору - бул жылытуу натыйжалуулугун жогорулатууга жана газдын кириши менен зыяндуу магниттик байланышты азайтууга багытталган технология. Кадимки индукциялык жылытуу MOCVD реакторлору көбүнчө камеранын сыртында жайгашкан индукциялык катушка ээ, бул азыраак эффективдүү жылытууга жана газ жеткирүү системасына потенциалдуу магниттик тоскоолдуктарга алып келиши мүмкүн. Акыркы… Толук маалымат